Upper-Lower-Correlation

Die Upper-Lower-Correlation-Tools werden bei Flip-Chip-Bondern eingesetzt. Dabei muss ein Chip exakt auf einem Wafer platziert werden. Die Position des Bauteils wird anhand der Struktur auf der Unterseite ermittelt. Die Struktur auf der Unterseite ist mit einer Kamera von oben über dem Wafer nicht mehr zu sehen. Daher wird der Offset (X, Y und Rotation im Welt-Koordinaten-Raum) zwischen der Struktur auf der Unterseite und einer Struktur auf der Oberseite in einer Upper-Lower-Correlation-Station mit zwei Kameras ermittelt. Eine Kamera (Upper-Camera) sieht dabei das Bauteil von oben und eine zweite Kamera (Lower-Camera) von unten. Der Offset wird in der Upper-Lower-Correlation gespeichert und kann dann über dem Wafer (Destination-Camera) wieder addiert werden.

CorrelateCamerasTool

Mit diesem Tool wird eine Beziehung zwischen der unteren und der oberen Kamera hergestellt. Hierzu wird ein Kalibrierspiegel zwischen die Kameras gefahren. Beide Kameras sehen dasselbe Rechteck. Das CorrelateCameraTool führt die folgenden Schritte aus:

  • Eckpunkte des Rechtecks im oberen Kamerabild finden.

  • Eckpunkte des Rechtecks im unteren Kamerabild finden.

  • Dem N-N Fixture-Tool die gefundenen Punkte setzen.

  • Das Fixture-Tool ausführen.

  • Die Transformation merken.

../../../_images/CorrelateCamerasTool.png

  1. Acquire images: Die Kamerabilder werden von diesem Tool aufgenommen. Das obere Bild ist dabei Bildquellenindex NULL des Parent-Toolgroupitems, das untere Bild ist Bildquellenindex EINS.

  2. Train tool with image number: Auswahl der Bildnummer, die zum trainieren der Tools verwendet werden soll.

  3. Fixture input images: Die Inputimages werden über ein Patmax Tool fixiert.

  4. Run Fixture InputImages: Bildfixierung ausführen.

  5. Find Rect Upper/Lower: Einstellungen für das Gefasoft InspectEdgeTool um das Rechteck im oberen/unteren Kamerabild zu finden.

  6. Mode:

  • SingleImage: Nutzt die Bilder der Inputterminals InputImageUpper und InputImageLower für die Bestimmung der Eckpunkte der Rechtecke.

  • MutiImage - MeanPointsForN2N: Nutzt die Bilder der Inputterminals InputImageArrayUpper und InputImageArrayLower für die Bestimmung der Eckpunkte der Rechtecke. Die gefundenen Eckpunkte in den Upper bzw. Lower Bildern werden gemittelt und anschließend dem FixtureNPointToNPoint Tool übergeben.

  • MutiImage - PassAllPointsToN2N: Nutzt die Bilder der Inputterminals InputImageArrayUpper und InputImageArrayLower für die Bestimmung der Eckpunkte der Rechtecke. Die gefundenen Eckpunkte in allen Upper bzw. Lower Bildern werden dem FixtureNPointToNPoint Tool übergeben. (Obsolet: Nur sichtbar, wenn der Modus vorher aktiv war, oder die Umgebungsvariable VIPER_MODE=DEV gesetzt ist.)

  1. FixtureNPointToNPoint: Einstellungen für das Cognex N-N-FixtureTool um die Transformation von dem unteren in das obere Kamerabild zu berechnen.

  2. Result Space name: Name des Koordinatensystems, in dem die Ergebnisse zurückgegeben werden. Auswählbar sind alle Koordinatensysteme des Inputimages.

  3. Result Angle Unit: Einheit der Rotation. Auswählbar sind RAD, DEG und DEG45. DEG45 ist dabei ein auf 45 DEG bereinigter Winkel.

  4. LastRun.Upper.LastRunImage: Der rote Kreis zeigt die Mitte des unteren Kamerabildes, dargestellt im oberen Kamerabild.

Siehe auch
InspectEdgeTool

CorrelateDieTool

Mit diesem Tool wird ein Korrelationsoffset erzeugt, bzw. überschrieben. Ein Korrelationsoffset speichert die Bauteilposition des unteren Kamerabildes relativ zum oberen Kamerabild. Pro Bondkopf muss ein Korrelationsoffset angelegt werden. Das Tool benötigt als Eingabe die Position und Rotation des Bauteils im unteren, so wie im oberen Kamerabild. Diese können z.B. durch das GetPositionTool gefunden werden. Die Positionen müssen im Pixel-Koordinaten-Raum übergeben werden.

../../../_images/CorrelateDieTool.png

  1. CorrelationKey: Name der Korrelationsdaten die befüllt werden sollen. CorrelationKey wird im durch den Kommando Parameter Bondhead befüllt.

  2. Delete: Löscht den ausgewählten Korrelationsdatensatz.

  3. AngleInDegree: Gibt an, ob die Winkel in Grad oder in Rad angegeben sind.

  4. LastRun.LastRunImageUpper: Der rote Kreis zeigt die Position des Bauteils im unteren Kamerabild, dargestellt im oberen Kamerabild. Die gelbe Linie stellt die Rotation des Bauteils im unteren Kamerabild im oberen Kamerabild dar.

  5. PosUpperX/Y/R: Referenzposition im oberen Kamerabild. Die Position muss im Pixel-Koordinaten-Raum übergeben werden.

  6. PosLowerX/Y/R: Relevante Position im unteren Kamerabild. Die Position muss im Pixel-Koordinaten-Raum übergeben werden.

  7. TransformWordlUpper: Welt-Koordinaten-Raum des oberen Kamerabildes.

  8. UpperLowerCorOffsetX/Y/R: Von CorrelateDieTool ermittelter Offset (X, Y und Rotation im Welt-Koordinaten-Raum) zwischen der relevanten Position auf der Unterseite und der Referenzposition auf der Oberseite.

../../../_images/CorrelateDieUpperLowerPositions.png

  1. PosLower: Relevante Position im unteren Kamerabild.

  2. PosLowerInUpper: Relevante Position im unteren Kamerabild, dargestellt im oberen Kamerabild.

  3. PosUpper: Referenzposition im oberen Kamerabild.

AddCorrelationOffsetTool

Mit diesem Tool wird der Bauteilposition ein Korrelationsoffset hinzugefügt. D.h. man sucht die Bauteilposition (Referenzposition) im oberen Kamerabild (Destination-Camera) und erhält die Position im unteren Kamerabild. Der Korrelationsoffset muss zuvor durch das CorrelateDieTool befüllt worden sein. Das Tool benötigt als Eingabe die Position und die Rotation des Bauteils im oberen Kamerabild. Diese kann z.B. durch das GetPositionTool ermittelt werden. Die Positionen müssen im Welt-Koordinaten-Raum oder im Pixel-Koordinaten-Raum übergeben werden.

../../../_images/AddCorrelationOffsetTool.png

  1. CorrelationKey: Name der Korrelationsdaten die verwendet werden sollen. CorrelationKey wird durch den Kommando Parameter Bondhead befüllt.

  2. Delete: Löscht den ausgewählten Korrelationsdatensatz.

  3. AngleInDegree: Gibt an, ob die Rotation in Grad oder in Rad angegeben sind.

  4. LastRun.LastRunImageUpper: Der rote Kreis zeigt die Position des Bauteils im unteren Kamerabild, dargestellt im oberen Kamerabild. Die gelbe Linie stellt die Rotation des Bauteils im unteren Kamerabild im oberen Kamerabild dar.

  5. TransformPosTargetToWorld: Muss angewählt werden, falls die Position im Pixel-Koordinaten-Raum übergeben wird.

  6. PosTargetX/Y/R: Referenzposition im oberen Kamerabild. Die Position muss im Welt-Koordinaten-Raum oder im Pixel-Koordinaten-Raum übergeben werden.

  7. CorrelatedPosTargetX/Y/R: Bauteilposition mit Korrelationsoffset.

  8. UpperLowerCorOffsetX/Y/R: Gespeicherter Offset (X, Y und Rotation im Welt-Koordinaten-Raum) zwischen der relevanten Position auf der Unterseite und der Referenzposition auf der Oberseite.

../../../_images/AddCorrelationOffsetUpperLowerPositions.png

  1. PosUpper: Referenzposition im oberen Kamerabild.

  2. PosLowerInUpper: Relevante Position des unteren Kamerabildes, dargestellt im oberen Kamerabild.